1、国内螺杆真空泵的企业,从2004年起便开始进行型线与结构性能方面的研究。在2007年国内干式螺杆真空泵的市场基本被国外厂家占据的时候,国内公司投入大量资金将该产品转入批量化的生产,并得到国家的大力支持获得各类省级国家级科技奖项和资金。LG干式螺杆真空泵极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式/喷射式/水环式真空泵的更新换代产品,在国内各大制药和化工企业得到大量应用。针对不同工艺条件,其过流部件(即转子和泵体等与气体接触的部分)均有防腐涂层,包括镍磷涂层和PTFE两种。
2、螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。
3、德国和日本公司在1999年底正式推出的螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵,它是一种全新的设计,是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题,如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子,有内压缩过程,泵腔内无轴承和密封,大大降低了故障率,泵腔内没有内部阀门,因而耐粉尘和焦油能力强,此泵的螺杆采用内部中空冷却,可以降低转子温度和热变形,螺杆寿命长。