螺杆真空泵在运用时常会用到氮气进行填充，首要是由于用氮气对泵进行吹扫，能够推迟腐蚀性气体对泵的腐蚀，然后起到一个超卓的维护效果。
螺杆真空泵为什么要用氮气，我们能够总结为以下几个原因：
1、真空泵里冲入氮气是为了在真空泵内壁构成弱小维护气膜，氮气压力不宜过大，也不宜过小，过大会影响抽真空效果和添加能耗；过小或许导致形不成维护效果。
2、抽腐蚀性气体的泵会用到氮气，氮气对泵进行吹扫，推迟腐蚀性气体对泵的腐蚀。
3、是真空镀膜工艺中用到的一些气体对真空泵有腐蚀效果，所以会选用这种泵。但是墙体里通的氮气和泵用的是分隔的。
4、冲多少单位的氮气后就能镀膜出他们需求的色彩。有些色彩用乙炔。在实践运用中，大都运用氩气。
5、气密，稀释制程气体。减轻腐蚀及制程附着。
6、氮气在没有必定的温度、压力或者是催化剂等辅佐条件下，很难与外界产生反应。因此在泵体系清洗过程中，运用氮气吹扫，更为安全可靠。
7、氮气的吸附热小，吸附于物体外表的时间短。当氮气吸附于真空泵的器壁外表时，将会很简单被抽走。真空体系清洗中的氮气吹扫正式运用了它的这个特性。在真空镀膜中，用枯燥氮气吹扫清洗过真空体系后，氮分子会首先吸附于真空体系的器壁。由于器壁外表的吸附位是必定的，被氮分子沾满后，其他的分子如水分子等就会削减。因此真空体系的整个抽气时间就会大大削减。
氮气是一种稳定无害的气体，能够很好的对螺杆真空泵起到维护效果，有用延伸运用寿数，减缓腐蚀问题。
