干式真空泵的应用非常广泛，主要有以下几个方面，下面小编带你了解一下干式真空泵的应用范围和场景：
1）多晶硅制备过程中的低压化学气相沉积;
2）半导体蚀刻工艺。 在这些制造过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒;
3）除半导体工艺外，部分工艺过程产生的颗粒，不希望颗粒与泵油混合，希望颗粒从泵内排出，用一定类型的干式机械真空泵达到要求;
4）在化学工业，医药工业，食品工业的蒸馏，干燥，消泡，包装，防止有机溶剂引起的污染，适合与干式真空泵配套使用;
5）用作普通无油清洗真空系统的前级泵，防止油污染。
干式真空泵主要有以下几种形式：
双圆片
双盘设计与当今最流行和广泛使用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最早的干泵设计是罗茨泵的堆叠。这种多级设计使得气路非常复杂，并且需要在每个阶段有更大的氮气流量来进行稀释和隔离。同时，为了达到好的真空度，对各级的通关要求也是非常严格的。当然，由于内部压缩比的增加，这种设计使其功耗相对较低。
三叶草裂片
苜蓿叶形分割设计与双分割设计相同，只是气体在一次旋转中被分成三部分而不是两部分。两种设计都有相同的优点和缺点。为了进一步降低功耗，一些厂商在选择两个直流电机的传动部分，但这也会导致转矩减小，重新启动 - 下降的能力。与双盘设计一样，三叶草设计的每个阶段都需要较大的氮气流量来进行稀释和隔离。
组合（根+爪）
组合（根部+爪部）与根部一起设计，以改善吸气效率在更高的压力下吸气效率。其基本原理和气路与上一节所述完全相同。一些厂家将最后的水平设计成明星，这样的气体可以分为五个革命，就像三个圆形的分割设计可以分成三个。同样，在许多过程中，组合设计的每个阶段需要更大量的氮气流作为稀释和隔离。
外部压缩式螺丝
在外部压缩式螺丝设计中，使用一对等距的螺丝。这使内部压缩最小化，同时保持气路最短和最简单。这样，气体可以在最短的时间内停留在泵体内。尽管这种设计由于其内部压缩比降低而导致功耗相对较高，但在许多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得氮气需求非常小且简单，这使得它在不同工艺中可以互换。在许多清洁过程中，您甚至可以消除氮气。
内部压缩式螺丝
除了使用一对非等距的螺丝外，内压螺丝设计和外压螺丝设计的基本原理非常相似。螺丝减小的体积使其内部产生压缩。 由于内部压缩，该设计将功耗降至与多级泵相当的水平。 然而，在许多工艺中，这种内部压缩，就像多级泵一样，很容易造成气体在泵体中发生物理和化学变化而凝固或液化。
